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高精度影像仪解决半导体尺寸测量难题

来源: 金沙国际网址游戏 类型: 技术常识 时间:2021-07-20 17:26:49

半导体类尺寸测量一直是行业难题,微小尺寸检测需要很高精度的影像测量设备才能完成。为了满足半导体客户高品质测量要求,七海推出Optiv Reference高精度影像仪,此高精度大行程光学测量方案能有效解决高精度测量需求,助力客户在该产业领域的研发实力。

 

Optiv Reference是高精度复合式影响测量系统,是七海影像仪中精度最高的多传感器仪器。是一款高精度型固定桥式超高精度的复合式影像测量系统,机器配备专利双Z轴设计,能通过两个垂直轴安装触发和发光传感器,给实际测量工作中带来不少便利和减少来回设置的麻烦。全花岗岩结构,精密V形燕尾导轨设计Y轴,让机器能保持出众的稳定性,为精准测量提供基础。工业级高清晰度CCD相机,配合可调三种光源,能够捕捉清晰的影像信息。

 

通过不断验证完成后,影像团队对设备方案进行调整,整合集团全球资源。推荐的高精度Optiv Reference 10103E1=0.3+L/600μm E2=0.6+L/600μm影像测量仪最终得到客户的认可,并确认采购Optiv Reference复合式影像测量仪。通过采用旗下Optiv Reference高精度复合式影像测量仪来进行尺寸测量验证,进一步提升了客户在研发阶段对微小尺寸测量的可靠性,助力企业在行业内形成标杆。同时也增加了七海对各行业检测难点深入研究的案例。客户给予这款七海高精度影像仪高度评价。

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